空壓機CDA-2中間壓力已超過管制值(2.8bar)，高壓轉子效率差，故進行高壓轉子更新。

107 年電子零組件製造業

改用3 liter RPS，降低Microwave System異常率與效益提升。 Clean function retrofit工程共4台。

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透過增設馬達變頻器來控制CLN流量的穩定，以改善基板洗淨製程能力穩定效果，除了能節省水的浪費，也透過變頻器的管理，讓pump的運作達到最佳化進而節能。

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修調Data Center運轉設備參數條件，以提升為最佳化狀態，目標為令PUE(能源使用效率)下降至1.33。

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Data Center能源效率提升：變更冷/熱通道的出/回風溫度，並修調Rowcool設備送風量運轉條件，達到節省運轉電費。

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DI現有RO共5套，目前已更換2套為節能pump。未來計畫更換剩餘3套為節能型pump。

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1. 改用高效率低壓RO取代高壓RO。 2. 使用低壓RO型號XFRLE-400/34i。(48EA) 3. 將RO運轉電流由64A降低至49A，達成節能改…

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Dry pump末端串接節能裝置，改善能耗。

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Dryer更換ACS FILTER以減少系統壓損，降低系統用電量。

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