標竿案例

06-EO 晶圓雷刻機集塵製程優化

年度 113
案例編號 113-C01-113-PE03
322

行業別：電子零組件製造業

技術別：製程設備(PE)

雷刻機 集塵機

28 (千度)

節省電力

3 公噸油當量/年

能源節約量

14 公噸/年

減碳量

99 仟元/年

節省費用

0 仟元/年

投資金額

0.0 年

回收年限

案例說明

1.EO 晶圓雷刻機台作業過程使用集塵機抽氣 ＜集塵機為標準配置附屬設備＞ 2.經盤查後同站點另一機型（OKANO DTB-1000） 已取消集塵機, 並改由廠務抽氣進行作業 3.故 Study 相同做法 : 改為廠務抽氣可達到節能需求

設計理念或改善流程

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