標竿案例

05-2195 研磨機台空氣過濾機節電

年度 113
案例編號 113-C01-113-PE02
454

行業別：電子零組件製造業

技術別：製程設備(PE)

拋光 研磨機

425 (千度)

節省電力

41 公噸油當量/年

能源節約量

210 公噸/年

減碳量

1,486 仟元/年

節省費用

0 仟元/年

投資金額

0.0 年

回收年限

案例說明

1.原廠設備 Setup 時, 拋光單元清潔水流量設定於 5LPM 2.為避免連續作業過程衍生產品異常風險, 在 Chuck table 清潔水流量皆 Follow 原廠設定並每片作業後進行清潔 3.調降清潔水流量至 2LPM, 並確保 Chuck Table 表面仍維持清潔效果

設計理念或改善流程

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