案例說明
將機台廢熱(General Exhaust ) 直接排入無塵室環境再循環，除減少排氣風車之耗電量外，並減少昂貴的無塵室外氣空調補給氣耗量，以降低廠區冰水耗用達到節能目的。
設計理念或改善流程
1.動機:
a.送入Fab 的空氣是非常昂貴的
b.有減量、回收空間嗎?
c.會影響產品嗎?
d.節能改善需要大投資嗎?
2.策略:
機台廢熱(General Exhaust ) 直接排入無塵室環境再循環，消除浪費
3.手法:
a.熱排進入再循環，消除浪費 (Dry Pump、Power Rack 廢熱不排出無塵室，節省冰水能耗)
b.以Align 精神進行減量 (Local Scrubber 、各類製程排氣減量)
c.杜絕非必要浪費(Gas Box 進行封口)
成效分析
4.執行成果:
a.D/Gex節能前後皆運轉3台，運轉頻率自50Hz→36Hz，節省54,600 CMH
b.B/Gex節能後，運轉台數由3→2台，頻率自34.5Hz→36.5Hz，節省39,650 CMH
c.B/D 棟 General Exhaust節能施作，共節省94,250 CMH
計算無塵室排氣量每1CMH總耗電量為0.00295 kw，改善後共調降94,250CMH
全年總節省電力：94,250CMH×0.00295 kW/CMH×8760 hr＝2,435,609KWH
總節省金額：2,435,609 kWh×NTD2.369/kWh＝NTD5,769,958/Year
綜合以上，以執行時間104/6月~104/12計算，電力節約1,429,527KWH
執行效益為NTD3,386,550
抑制二氧化碳排放量 1,429,527KWH´0.521Kg/1000Kg =744.78Ton
1.本工程發包執行，發包總金額NTD700,000 (Blower 購置+ 管路配置)
2.本次執行製程排氣系統節能效益為NTD5,769,958
3.本工程ROI = NTD700,000 / NTD5,769,958 = 0.12 Year