標竿案例

Off Wet clean DIO3 unit

年度 106
案例編號 106-C10-106-PE03
2443

行業別：電子零組件製造業

技術別：製程設備(PE)

DIO3

281 (千度)

節省電力

27 公噸油當量/年

能源節約量

155 公噸/年

減碳量

702 仟元/年

節省費用

0 仟元/年

投資金額

0.0 年

回收年限

案例說明

YOY improve by co-work with PE to do productivity CIP and在productivity improve 的情形下多餘的DIO3 會Idle and slow leak，故module off DIO3 unit to saving energy。

設計理念或改善流程



DNS/TEL/LAM 機型之附屬設備DIO3 unit OFF前後比較：
改善前後之各項節能計算(P5:6台, P6: 5台)
節能計算：
1. (節電) : 0.254KW * 24 hr * 365 D * 11 sets= 24.5 千度/year (純水) : 10.8 LPM*60min*24hr*365D/1000L=61.6 千噸24.5 + 61.6*4.159(能源轉換率) = 280.64 千度

成效分析

投資金額： 0仟元/年
回收年限： 小於一年

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