標竿案例

F12P6 EPi tool Exhaust最佳化調整

年度 105
案例編號 105-C01-103-UT09
484

行業別：電子零組件製造業

技術別：公用設備(UT)

Exhaust

604 (千度)

節省電力

58 公噸油當量/年

能源節約量

335 公噸/年

減碳量

1,620 仟元/年

節省費用

0 仟元/年

投資金額

0.0 年

回收年限

案例說明

雞蛋裏挑骨頭,在符合安全的規範下,將F12P6 EPi tool exhaust 最佳化調整。

設計理念或改善流程

減量目標: 均與製程Chamber無關
1.稀釋風機減量：該風機設定為 2,225 CMH/set，改為1,010 CMH/set；Situation: 1/10 LEL1/4 LEL，符合SEMI安全要求。
2.氣體供應箱減量：EPI/SiCoNi氣體供應箱設定為 3,341/554 CMH，改為
360/120 CMH；Situation: 符合SEMI-S6 7.6.1.1要求。

實際調整後改善狀況：
Dual EPi main tool exhaust 7693 CMH, reduced 1500CMH/set
Dual Epi LSC exhaust 4059 CMH, reduced 900CMH/set
Epi tool Total exhaust reduction 2400CMH/set, reduction rate 20.4%(2400/11752)
共調整 7台 Dual EPi
每年可省之電量= 7x0.0041(kW/CMH)x2400(CMH)x(24(hr/日)x365(日/年)
= 604,440 kWh /年
每年總節省金額：604,440 (kWH/年)× 2.68元/kWh＝1,617.14 仟元/年
抑制二氧化碳排放：604,440 * 0.521 = 314.91 公噸 /年


 

成效分析

1. 電力= 604.44仟度/年
2. 節省電費金額 = 1,617.14仟元/年
3. 抑制二氧化碳排放= 314.91 公噸/年
無投資金額

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