標竿案例

10-晶圓切割清洗用水節能優化作法

年度 113
案例編號 113-C01-113-PE05
554

行業別：電子零組件製造業

技術別：製程設備(PE)

調控 晶圓切割 製程

2 (千度)

節省電力

0 公噸油當量/年

能源節約量

1 公噸/年

減碳量

5 仟元/年

節省費用

0 仟元/年

投資金額

0.0 年

回收年限

案例說明

1.不影響晶圓品質條件, 降低晶圓切割清洗時間 150s  110s 2.同時可滿足 UPH 提昇及節水效益

設計理念或改善流程

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