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標竿案例

04-DGP_8761 研磨機台 – 拋光單元清潔用水製程優化

行業別：電子零組件製造業

技術別：製程設備(PE)

研磨拋光製程

46 (千度)

節省電力

4 公噸油當量/年

能源節約量

23 公噸/年

減碳量

141 仟元/年

節省費用

0 仟元/年

投資金額

0.0 年

回收年限

1.原廠設備 Setup 時, 拋光單元清潔水流量設定於 5LPM。 2.為避免連續作業過程衍生產品異常風險, 在 Chuck table 清潔水流量皆 Follow 原廠設定並每片作業後進行清潔。 3.調降清潔水流量至 2LPM, 並確保 Chuck Table 表面仍維持清潔效果。