標竿案例

TF CVD Process Chamber 加裝隔熱衣

年度
年度 114
案例編號
案例編號 114-C02-111-PE02
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行業別:電子零組件製造業

技術別:製程設備(PE)

溫度 熱損耗 保溫

527 (千度)

節省電力

45 公噸油當量/年

能源節約量

260 公噸/年

減碳量

1,899 仟元/年

節省費用

4,992 仟元/年

投資金額

2.6

回收年限

案例說明

於CHAMBER 四周包覆隔熱衣, 減少溫度逸散。

設計理念或改善流程

1. 改善前:
PROCESS CHAMBER 保溫效果差, 腔體溫度溢散, 須持續高功率維持CHAMBER 溫度設定值。
2. 改善後:
於 CHAMBER 四周包覆隔熱衣, 減少溫度逸散。

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